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至微半导体有限公司成立 于2017年,注册资本45500万人民币 ,由至纯科技控股(至纯科技,成立 于2000年,是一家在上交所上市的高 新技术企业,证券代603690.SH)。
至微半导体作为至纯科技独立的事 业部,定位为湿法业务运营平台,致 力于打造高端湿法设备制造开发平台。并已形成了以Ultron作为本土品牌 的槽式湿法清洗设备(B200,B300) 和单晶圆湿法清洗设备(S300)系列。 其全资子公司江苏启微半导体设备有 限公司负责设备制造,同时至微旗下 合肥晶圆再生和部件再生项目于2020年全面建设(4万平方米),并作为国 内首条十二寸晶圆再生线,为填补国 内专业领域服务空白贡献力量;此外 ,公司在日本、韩国、台湾地区等均 设有研发中心。公司约有80位专业技 术人员分布于5处研发中心,积极开展 跨区域研发合作,在4类工艺装备领域 ,已经获得了多项专利授权,截止 2020年底,湿法设备累计申请专利 122项,其中发明专利74项。


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